トップページ>製品情報>エレクトロニクス>表面処理>金属表面処理「クリーンエス処理」

金属表面処理「クリーンエス処理」

よみがな きんぞくひょうめんしょり くりーんえすしょり
英語名称
製品の別名
  • 金属表面処理 (耐食性、耐摩耗性材料)

この製品について問い合わせる

お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ

製品説明

クリーンエス処理は弊社の半導体プロセスガスを供給する上でユースポイントまで使用されるガスの純度を維持する事を目的に、1984年の開発以来、被膜性能の改良に鋭意検討を加えた表面処理です。

ガスボンベ、シリンダー(ボンベ)バルブ、配管、圧力調整器、ガス流量計、ラインバルブ、プロセスチャンバーまでを表面処理する事によって、高純度のガスの供給を実現しております。(特許1669048号)

又、プロセスにおいて使用されたハロゲンを含む排ガスを流通させる排気配管、フレキシブルホース、排ガス用真空ポンプ、除害装置に至るまでの機器を耐食表面処理する事によってそのライフを大きく延ばす事が出来ます。

現在の使用用途は、腐食性ガス雰囲気に対する耐食性を付与する事以外の特性用途として摺動機械部品に対する耐摩耗効果、ゴム金型等における高離型性、型汚れの低減効果を保有するタイプ等、各種用途に応じ様々な表面処理を開発し提供しております。

クリーンエス処理の種類と特徴

クリーンエス処理とは?
無電解メッキ法を用いニッケル合金系被膜を多層に積層成膜することによって各種特性を発現させております。

種類特徴具体的適用例
クリーンエス処理 A type 高硬度・耐摩耗性
  • ドライポンプ
  • 射出成形機スクリュー部品
  • 摺動部部品、金型
クリーンエス処理 H type 腐食性ガスに対する耐食性
  • 分子ポンプ
  • ガス排気系配管
  • 各種耐食バルブ
クリーンエス処理 AF type 高耐食性
  • チャンバー付属機器
  • ガス排気系配管、各種バルブ
  • 海水・塩害仕様部品

クリーンエス処理の施工例

ページトップへ

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366

この製品について問い合わせる

このページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。

お問い合わせ

  • SDSダウンロード
  • こんなところにSHOWA DENKO
  • バーチャル工場見学
  • SHORAYAL GUARD
  • Shodex
  • Autoprep
  • Karenz
  • ECOANN