ESPACER®

よみがな えすぺいさー
英語名称 ESPACER
製品の別名
  • 電子線描画用チャージアップ防止剤 / Charge-dissipating agent for electron beam lithography
  • ESPACER®100 / ESPACER 100
  • エスペイサー®300 / ESPACER 300
  • ポリ(イソチアナフテンジイルースルホネート)化合物および添加剤を含む水溶液 / aqueous solution of poly[isothianaphthenediyl sulfonate] and additives <化学名>

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お問い合わせ先
電子機能材事業部 営業部

製品説明

エスペイサー®は、導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止膜形成材料です。
その塗膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィーをはじめとする荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによって生じる諸問題の解決が期待できます。

[シリーズ]

ESPACER®300シリーズ、ESPACER®100シリーズ

[特性・物性]

非化学増幅系レジストおよび化学増幅系レジストのトップコートに使えます。
エスペイサー®100は酸性の保護膜としての効果が期待できます。
水溶性の導電性高分子でスピンコートが可能です。
溶剤に水を用いており、引火点、発火点、爆発限界がありません。
描画後は水で簡単に除去できます。

用途

半導体製造(電子線描画時の帯電による画像の歪み防止用)

製品関連情報

性状

黒色液体

荷姿

ポリ容器

お問い合わせ先

電子機能材事業部 営業部
TEL :03-5470-3344
FAX :03-3435-1034

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