高純度FC-218

よみがな こうじゅんどFC-218
英語名称 octafluoropropane
製品の別名
  • C3F8
  • FC-218 / octafluoropropane
  • オクタフルオロプロパン / octafluoropropane <化学名>

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エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。

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