高純度FC-2316

よみがな こうじゅんどFC-2316
英語名称 Hexafluoro-1,3-butadiene
製品の別名
  • C4F6
  • FC-2316 / hexafluoro-1,3-butadiene
  • ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン / hexafluoro-1,3-butadiene <化学名>

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エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。

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