クリーンガスの特徴と仕様

製品説明

特徴

  • 容器とバルブは内面研磨品です。
    (特に塩素系ガスの場合には内面研磨後に当社の”クリーンエス”処理を実施します。)
  • クリーンエス処理後、特殊洗浄を行ないます。
  • クリーン雰囲気中で特殊充填設備により充填いたします。
  • 各種ステップ毎にパーティクル管理を行ないます。

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容器の仕様

材質 マンガン鋼
内面処理 Rmax:1μm相当
(内面クリーンエス処理対応)
但しアンモニアについてはクリーンエス処理はいたしません。
内面洗浄 特殊洗浄(昭和電工方式)

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バルブの仕様

形式 ダイヤフラム式
本体材質 SUS316L
(内面クリーンエス処理対応)
但しアンモニアについてはクリーンエス処理はいたしません。
内面処理 Rmax:1μm相当
(特に塩素系ガスの場合は、内面研磨後当社のクリーンエス処理対応を実施します。)
洗浄・組立 特殊洗浄後、クリーン雰囲気下で組立

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