取り扱い製品一覧

エッチングガスおよびクリーニングガス

品名 化学式 更新日
高純度FC-14 カタログ (PDF160KB) CF4 2001.12.17
クリーンガスFC-14 カタログ (PDF163KB) 2002.9.3
高純度FC-116 カタログ (PDF254KB) C2F6 2001.12.17
クリーンガスFC-116 カタログ (PDF258KB) 2001.12.17
高純度HFC-23 カタログ (PDF171KB) CHF3 2001.12.17
クリーンガスHFC-23 カタログ (PDF259KB) 2001.12.17
高純度HFC-32 カタログ (PDF232KB) CH2F2 2001.12.17
クリーンガスHFC-32 カタログ (PDF259KB) 2001.12.17
高純度FC-C318 カタログ (PDF259KB) C4F8 2001.12.17
クリーンガスFC-318 カタログ (PDF258KB) 2001.12.17
高純度FC-218 カタログ (PDF209KB) C3F8 2001.12.17
高純度FC-2316 カタログ (PDF209KB) C4F6 2004.7.6
高純度三塩化硼素   BCl3 2001.12.17
クリーンガス三塩化硼素   2001.12.17
高純度塩素 カタログ (PDF259KB) Cl2 2001.12.17
クリーンガス塩素 カタログ (PDF258KB) 2001.12.17
高純度臭化水素 カタログ (PDF257KB) HBr 2001.12.17
クリーンガス臭化水素 カタログ (PDF44KB) 2001.12.17
高純度六弗化硫黄   SF6 2001.12.17
クリーンガス六弗化硫黄   2001.12.17
高純度三弗化窒素 カタログ (PDF258KB) NF3 2001.12.17

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エピタキシャル・膜生成ガス

品名 化学式 更新日
高純度アンモニア カタログ (PDF252KB) NH3 2001.12.17
高純度亜酸化窒素 カタログ (PDF261KB) N2O 2001.12.17
クリーンガス亜酸化窒素 カタログ (PDF254KB) 2001.12.17

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