高純度FC-14

製品説明

性状及び分類 Properties and Classification

外観・臭気/無色無臭の気体 国連番号/1982
CAS NO/75-73-0 圧縮ガス

* 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(MSDS)をご参照下さい。

品質規格 Specification

純度(Purity) vol% 99.9997以上
O2+Ar volppm 2.0以下
N2 volppm 10以下
CH4 volppm 0.5以下
CO volppm 0.5以下
CO2 volppm 0.7以下
H2O volppm 0.5以下
酸分 as HF volppm 0.1以下
SF6 volppm 0.2以下
CHF3 volppm 0.6以下
その他フッ化炭素分 volppm 2.0以下

容器 Cylinder

項目 10L容器 47L容器
サイズ 内径 140mm 232mm
高さ(ネック部) 850mm 1370mm
高さ(保護キャップ付き) * 1000mm 1520mm
バルブ口金部高さ(中心部) * 875mm 1380mm
充てん量 7kg 30kg, 33kg
材質 マンガン鋼

* 標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。

容器弁 Valve

口金サイズ Ø22mm×14山(w)×右ネジ(Right)
材質 BRASS

CF4の物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties

項目 単位 データ
化学式   CF4
分子量   88.01
沸点 -128.0
融点 -184
比重 (Air = 1)   3.04
液密度 kg/L 1.663
ガス密度 (127.9℃, 飽和溶液) g/L 7.666
臨界温度 -45.55
臨界圧力 MPa 3.74
kg/cm2 38.1
燃焼性   その他
劇・毒物   その他
蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) kJ/kg 135.9
許容濃度 (ACGIH) ppm -
爆発限界 (空気中)   -

CF4の温度-蒸気圧曲線 Temperature - Vapor Pressure Curve

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