クリーンガスについて

クリーンガスについて

エレクトロニクス製品のコンパクト化と高性能が求められている現在、加速する半導体の高集積化に対して、電子材料ガスにはさらなるクリーン化が求められています。昭和電工はこうした要望に対応し、パーティクル管理をしたガスを製造・供給するシステムを開発、クリーンガスとしてお客様に提供しています。

当社が開発したクリーン処理を内面に施した
クリーンガス容器

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