高純度HFC-41

よみがな こうじゅんどHFC-41
英語名称 fluoromethane
製品の別名
  • CH3F
  • HFC-41 / fluoromethane
  • フルオロメタン / fluoromethane <化学名>

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エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。

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