高純度アンモニア(NH3)

製品基本情報

製品概要

半導体製造における絶縁膜の成膜工程で使用されるガスです。
特に窒化膜の形成に適しています。

アンモニア(NH3)

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メリット

  • さまざまな窒化膜の成膜が可能
  • 複数の生産拠点からの強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
  • 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
  • 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
  • 47Lから大型容器(ISOタンクコンテナ)まで幅広い荷姿での提供

特性値

性状及び分類

外観/無色の気体もしくは液体 臭気/刺激臭
CAS NO/7664-41-7 国連番号/1005
液化ガス 劇物
  • 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。

NH3の物理・化学的性質

項目 データ
物理状態 気体
外観 液化ガス
無色透明
臭い アンモニア臭
pH 該当しない
融点 -77.7 ℃
沸点 -33.4 ℃
自然発火点 651 ℃
蒸気圧 755 kPa (20 °C)
相対蒸気密度 (20 ℃) 0.55 (空気=1)
相対密度 0.61 (20 °C)
爆発限界 15 – 28 vol % (空気中)

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