高純度三塩化硼素

よみがな こうじゅんどさんえんかほうそ
英語名称 boron trichloride
製品の別名
  • BCl3
  • 三塩化ホウ素 / boron trichloride <化学名>

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エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。

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