高純度三弗化窒素

よみがな こうじゅんどさんふっかちっそ
英語名称 high purity nitrogen trifluoride
製品の別名
  • NF3
  • 三弗化窒素 / nitrogen trifluoride

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情報電子化学品事業部 ファイン製品部

製品説明

性状及び分類 Properties and Classification

外観・臭気/無色無臭の気体もしくは液体 国連番号/2451
CAS NO/7783-54-2 圧縮ガス

* 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(MSDS)をご参照下さい。

品質規格 Specification

純度(Purity) wt% 99.99以上
水分 wtppm 5以下
酸分 wtppm 1以下
CF4 wtppm 90以下
空気 wtppm 100以下
 

容器 Cylinder

項目10L容器47L容器
サイズ 内径 140mm 232mm
高さ(ネック部) 850mm 1370mm
高さ(保護キャップ付き) * 1000mm 1520mm
バルブ口金部高さ(中心部) * 875mm 1380mm
充てん量 1kg 5kg, 15kg
材質 マンガン鋼

* 標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。

容器弁 Valve

口金サイズ Ø22mm×14山(w)×右ネジ(Right)
材質 BRASS

NF3の物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties

項目単位データ
化学式   NF3
分子量   71
沸点 -129
融点 -208.5
液密度 (-129℃) kg/L 1.54
ガス密度 g/L 2.98
臨界温度 -39.3
臨界圧力 MPa 4.53
燃焼性   その他
劇・毒物   その他
蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) kJ/kg 117
許容濃度 (ACGIH) ppm 10
爆発限界 (空気中, 35℃, 101.3kPa)   -

NF3の温度-蒸気圧曲線 Temperature - Vapor Pressure Curve

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366

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