触媒式PFC(地球温暖化ガス)除害装置

よみがな しょくばいしきぴーえふしーじょがいそうち
英語名称 CATALYTIC DECOMPOSITION SYSTEM
製品の別名
  • HICDS / CATALYTIC DECOMPOSITION SYSTEM

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情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ

 

製品説明


エッチング工程から排出されるPFCを高効率で分解

半導体や液晶の製造プロセスからは多くの物質が排出されます。
近年、環境保全の観点から、地球温暖化係数の高いPFCなどのガス排出削減が求められてきています。
昭和電工では、独自の触媒により、触媒式PFC分解装置「HICDS」を販売。
エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、触媒式ならではの高い安全性・経済性を生かし効率よく分解、環境保全に貢献しています。

触媒式PFC分解装置     
          CD-200                                        CD-3000

特長

PFCなどを効率よく分解・処理

独自の触媒により、全PFCに対して高効率に分解が可能。更に、COや微量副生成物SiF4なども処理します。
また、触媒の耐久性も高く、1年以上高分解率を保持いたします。(標準条件にて運転した場合)

安全性を十分に考慮
加熱源に電気を使用することで、運転性と安全性を高めています。
また、系内を負圧に維持しクリーンルームへのガス漏れを防止します。

環境の保全に貢献
燃焼を伴わないため、排ガスや排水の量が少なく、NOxの発生もありません。
(但し、処理ガス(NF、NH等)起源のNOxは除く)

HIDDS形式* CD-120  CD-200 CD-3000 
装置寸法 W1400×D720×H1800 W1400×D720×H1800 W8060×D2440×H2900
処理量(最大処理量)
(PFC最大処理量(1%))
120L/min
(1.2L/min)
200L/min
(2.0L/min)

3000L/min
(30.0L/min)

用途 電気 -  三相AC200V 三相AC200V 三相AC440V
水道水 0.2~0.3MPa
Ca<30mg/L、
固形分<50μm
温度<27℃(配管結露なし)
水質<20mS/m
2.5L/min 3.5L/min 50L/min
純粋

0.25~0.3Mpa
水質0.1mS/m以下

15mL/min 20mL/min 300mL/min
圧縮窒素 0.5~0.8MPa
バルブ及びエゼクタ起動用
200L/min 240L/min 約3,000L/min

*他に処理量の異なる装置があります。別途お問い合わせください。

[PFC分解装置に関する特許の紹介]

基本特許            関連装置特許    関連触媒特許
特許第3,217,034号         特許第3,237,651号    特許第3,269,456号
「PFC処理方法及び装置」     「PFC処理装置」      特許第3,368,820号
                                     「PFC分解触媒」
 及び、出願中の特許により保護されています。


【関連製品へのリンク】
乾式PFC(地球温暖化ガス)除害装置

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366

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