乾式PFC(地球温暖化ガス)除害装置

よみがな かんしきぴーえふしーじょがいそうち
英語名称
製品の別名
  • クリーンエスPF

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情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ

製品説明

乾式PFC除害装置クリーンエスPFシリーズ

クリーンエスPFシリーズ、クリーンエスPF-H、クリーンエスPF、クリーンエスPF-I、クリーンエスPF-II、クリーンエスPF-III

概要


当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。現在までに国内・外にて400台以上の販売実績があり、ユーザー様の工程において順調に稼動しています。
当社のPFC除害装置は、分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化学反応方式を採用した水処理不要の乾式除害装置です。

特徴


水を使わない乾式システム

化学分解反応方式による除害システムのため、薬液や冷却水・窒素は必要ありません。よって排水処理、漏水対策は不要です。

低温・高分解率除害装置

反応温度600℃以下という低温にて、PFC、SF6、NF3を高効率で分解除害処理致します。また、低温処理のため、省エネルギーにも貢献しています。

排出量の少ない装置

排ガス分解を電気によるヒーティング方式により行っているため、燃料ガス及び水の使用によるCO2排出はありません。このため装置の稼動中においても環境負荷が低減されています。

フッ素分の2次処理不要

PFCガスの除害処理で発生するフッ素分(F)は、反応剤と反応し化合物として固定する為、フッ素分(F)の2次処理は必要ありません。

省ユーティリティー

必要とするユーティリティは電気(定常運転時4kW/Hr)、乾燥空気、排気のみです。

カラム交換時、装置停止不要の連続運転方式

使用中の反応剤が破過しましたら、自動で未使用側の反応器に切り替わる“2筒自動切替方式”ですので、連続運転が可能です。また、カラム交換時の装置停止も必要ありません。(2筒式のみ)

研究用から製造プロセスまで対応可能

研究開発用途向けの小型40L(1筒式)から、製造プロセス用途向けの100L(2筒式)高流量240L/minをラインナップ。用途に応じて幅広いラインナップからお選び頂けます。

クリーンエス®PFシリーズラインナップ
※写真をクリックすると、拡大画像が表示されます。
  100L反応器タイプ
100L2筒式
機種名 クリーンエス
PF-H
クリーンエス
PF
クリーンエス
PF-I
(2筒式) (2筒式) (1筒式)
排ガス受入総量 240
L/min
120
L/min
120
L/min
装置サイズ 幅(W)[mm] 1900 1700 1350
奥行(D)[mm] 1000 850 950
高さ(H)[mm] 2050 2050 1900
ユーティリティ
(標準使用量)
電気[kWH] 4 4 2
空気[L/min] 40 20 20
処理ガス排気[L/min] 240 120  120
筐体排気[m3/min] 7 4  4
 
40L反応器タイプ
40L2筒式
クリーンエス
PF-II
クリーンエス
PF-III
(2筒式) (1筒式)
120
L/min
120
L/min
1200 750
720 800
1800 1800
2 1
20 20
120 120
4 4
※改良により予告無く仕様を変更する事があります。

 

反応器内の分解反応剤が破過しましたら、剤の交換(再生)を行います。
剤の再生拠点は日本に2拠点あり、それぞれのエリア別に対応しております。
その他、中国・台湾においても装置を販売しており、それぞれの国に再生拠点があり、対応しております。

【関連製品へのリンク】
触媒式PFC(地球温暖化ガス)除害装置

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366

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