酸性ガス除害装置

よみがな さんせいがすじょうがいそうち
英語名称
製品の別名
  • クリーンエスZ

この製品について問い合わせる

お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ

製品説明

ドライエッチング廃ガス処理装置乾式PFC除害装置クリーンエスZシリーズ

除害筒収納BOX除害筒収納BOX

除害筒:13型除害筒:13型
除害筒は主に80、110、130ℓ容量(7型、10型、13型)の大きさがあります

概要


当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。
クリ-ンエスZシリーズは、塩素(Cl2)、臭化水素(HBr)などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
充填剤には物理吸着剤(活性炭等)、化学反応吸着剤を使用し、その組み合わせにより、プロセスガス種に応じて下表の様な多種の型式を揃えています。

特徴

1985年に業界で初めて開発・販売し、除害筒6500台、収納装置1000台以上の実績があります。

吸着能力

<測定条件>
  温度=25℃、圧力=常圧、流量(線速度LV)=2m/min
  ガス濃度= 10,000ppm ( =1%、N2希釈)

 ガス名   クリーンエス ZB クリーンエス ZH クリーンエス ZT クリーンエス B2 クリーンエス NX-Ⅱ
13型 13型 13型 13型 13型
[kg] [kg] [kg] [kg] [kg]
Cl2 11.1 3.1 3.9 14.1 8.2
BCl3 15.6 16.7 8.4 15.6 4.2
SiF4 6.6 22.9 11.4 7.7 19.2
HF 4.7 13.2 6.6 2.4 8.4
HCl 9.3 24.1 12.0 5.1 15.3
HBr 27.2 53.5 26.7 9.8 34.0
SO2 4.8 2.8 11.9 3.9 12.2
特徴  活性炭系の物理吸着
+無機系剤の化学吸着
無機系剤の化学吸着 無機系剤の化学吸着  活性炭系の物理吸着
+無機系剤の化学吸着
 
無機系剤の化学吸着 
Cl系の除害に適している HBr、HF、SiF4の除害に適している SO2(SF6使用プロセス)の除外に適している Cl系の除害に適している  SO2(SF6使用プロセス)の除外に適している 

 

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366

この製品について問い合わせる

このページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。

お問い合わせ

  • SDSダウンロード
  • こんなところにSHOWA DENKO
  • バーチャル工場見学
  • SHORAYAL GUARD
  • Shodex
  • Autoprep
  • Karenz
  • ECOANN