ソルファイン®-SE-TW10/A

よみがな そるふぁいん
英語名称 Solfine-SE-TW10/A

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製品説明

本製品を過酸化水素水に添加することで、Ti, W, TiW, TiNの長寿命なエッチングが実現します。

~ エッチャントとしての特長 ~

【過水の分解抑制】

  • 長い液ライフ (図参照)
  • 低発泡 (写真参照)

【高選択性】

  • Ti(チタン), W(タングステン), TiW, TiNに対するAl, Cu, SiO2のエッチングレート比は0.01以下

【低環境負荷】

  • 中性
  • PRTR法非該当

過水単独使用時と比較した場合(当社測定データによる)

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ソルファイン部
TEL :0834-64-0806
FAX :0834-62-0997

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