ソルファイン®フォトレジスト用

よみがな そるふぁいんふぉとれじすとよう
英語名称 solfine
製品の別名
  • フォトレジスト用溶剤
  • ソルファイン®-MP / solfine-MP
  • ソルファイン®-リンス310 / solfine-rinse310

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情報電子化学品事業部 ソルファイン部

製品説明

半導体やFPD製造時のフォトリソグラフィー工程で使用されるレジストの溶解力やリンス性に優れた有機溶剤です。

商品名特性
ソルファイン®-MP 第二石油類。レジスト溶解力に優れている
ソルファイン®-リンス310 第三石油類。ポリイミド洗浄性能に優れている

以下のような用途に利用されます。

商品名用途
ソルファイン®-MP 半導体、FPD分野のレジスト溶媒や洗浄
ソルファイン®-リンス310 ポリイミドエッジリンス

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ソルファイン部
TEL :0834-64-0806
FAX :0834-62-0997

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