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シリコンウェハ用クリーンバッグ

よみがな しりこんうぇはようくりーんばっぐ
英語名称

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昭和電工パッケージング株式会社 電子・機能材営業グループ

製品説明

シリコンウェハのクリーンルーム間の移動、またはシリコンウェハの出荷用包装材です。お求めの性能に合わせた構成・材質・サイズの設計が可能です。

[グレード・シリーズ・タイプ]

内袋(透明バリア袋) 構成1 ONY#15/PE60μm
構成2 透明バリアPET#12/ONY#15/PE50μm
構成3 透明バリアPET#25/PE70μm
外袋(アルミ高強度袋) 構成4 静電防止PET#12/AL9μm/ONY#15/PE65μm

[規格概略]

タイプ 品番 主な用途 袋形状 サイズ
(外寸:幅×折込×長さ)
ケース入り数 構成 備考
 内袋(透明バリア袋)    M31 200mm用 舟底袋 285×265×600mm 200枚 構成①  
M23 200mm用 三方袋 550× - ×560mm 200枚 構成② 自動機対応
M25 300mm用 舟底袋 460×350×900mm 100枚 構成②  
SC50NN 300mm用 三方袋 840× - ×800mm 100枚 構成③ 自動機対応
外袋(アルミ高強度袋)    P630 200mm用 舟底袋 285×270×630mm 200枚 構成④  
A18 200mm用 三方袋 550× - ×560mm 200枚 構成④ 自動機対応
A21 300mm用 舟底袋 460×350×900mm 100枚 構成④  
SA50D 300mm用 三方袋 840× - ×800mm 100枚 構成④ 自動機対応

※上記以外の寸法、構成についてもお取り扱いがございます。別途お問い合わせください。

お問い合わせ先

昭和電工パッケージング株式会社 電子・機能材営業グループ
TEL :03-5400-2083
FAX :03-5400-2086

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