ガスボンベ(クリーンガス)

製品説明

表面処理後のボンベ内面の状況

エレクトロニクス製品のコンパクト化と高性能が求められている現在、加速する半導体の高集積化に対して、電子材料ガスにはさらなるクリーン化が求められています。昭和電工はこうした要望に対応し、パーティクル管理をしたガスを製造・供給するシステムを開発、クリーンガスとしてお客様に提供しています。

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