エレクトロニクス : 特殊電子材料用途品

ESPACER®
電子線描画用チャージアップ防止剤
導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止膜形成材料です。塗膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィーをはじめとする荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによって生じる諸問題の解決が期待できます。
代表製品名英語
ESPACER
用途
半導体製造(電子線描画時の帯電による画像の歪み防止用)
お問い合わせ
電子機能材事業部 営業部
TEL :03-5470-3344
FAX :03-3435-1034
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