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エスペイサー^®は、導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止膜形成材料です。
その塗膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィーをはじめとする荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによって生じる諸問題の解決が期待できます。

[シリーズ]

ESPACER^®300シリーズ、ESPACER^®100シリーズ

[特性・物性]

非化学増幅系レジストおよび化学増幅系レジストのトップコートに使えます。
エスペイサー^®１００は酸性の保護膜としての効果が期待できます。
水溶性の導電性高分子でスピンコートが可能です。
溶剤に水を用いており、引火点、発火点、爆発限界がありません。
描画後は水で簡単に除去できます。

用途

半導体製造（電子線描画時の帯電による画像の歪み防止用）

製品関連情報

性状

黒色液体

荷姿

ポリ容器

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