ESPACER®
- よみがな
- えすぺいさー
- 英語名称
- ESPACER
- 製品の別名
- 電子線描画用チャージアップ防止剤 / Charge-dissipating agent for electron beam lithography
- ESPACER®100 / ESPACER 100
- エスペイサー®300 / ESPACER 300
- ポリ(イソチアナフテンジイルースルホネート)化合物および添加剤を含む水溶液 / aqueous solution of poly[isothianaphthenediyl sulfonate] and additives <化学名>
製品説明
エスペイサー®は、導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止膜形成材料です。
その塗膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィーをはじめとする荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによって生じる諸問題の解決が期待できます。
[シリーズ]
ESPACER®300シリーズ、ESPACER®100シリーズ
[特性・物性]
非化学増幅系レジストおよび化学増幅系レジストのトップコートに使えます。
エスペイサー®100は酸性の保護膜としての効果が期待できます。
水溶性の導電性高分子でスピンコートが可能です。
溶剤に水を用いており、引火点、発火点、爆発限界がありません。
描画後は水で簡単に除去できます。
用途
半導体製造(電子線描画時の帯電による画像の歪み防止用)
製品関連情報
性状
黒色液体
荷姿
ポリ容器
お問い合わせ先
電子機能材プロジェクト
TEL :03-5470-3293
FAX :
TEL :03-5470-3293
FAX :
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