エスペイサー®は、昭和電工独自の導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止剤膜形成材料です。

特徴

• エスペイサー®の塗布膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィー等荷電粒子線照射プロセスにおいてチャージアップによる問題を解決できます。
• エスペイサー®100シリーズと300シリーズを用意しています。
• 溶媒には水のみを使用しています。
• ＃100：非化学増幅型レジスト向け、室温保存性にすぐれています。 酸性。
• ＃300：化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト両方に適用できます。 弱酸性。

電子線描画のエスペイサー®の効果

ページトップへ

エスペイサー®300シリーズ

• 非化学増幅型レジストには、エスペイサー®300、エスペイサー®300Zが好適です。
• 化学増幅型レジストには、エスペイサー®300Nシリーズが好適です。

レジストの種類に対応してグレードをそろえております。
詳細についてはお問合せください。

「エスペイサー®」は昭和電工株式会社の登録商標です。

ページトップへ

ご注意

本ホームページに記載されている情報（以下本情報といいます。）は誠意をもって作成され、かつ正確なものであると考えておりますが、本情報は、利用者が自らのリスクで利用することを前提に提供されているものであって、昭和電工株式会社は、本情報の完全性、正確性または適時性につきなんら保証するものではありません。

昭和電工株式会社は、本情報および本ホームページに記載されている諸製品に関し、それらが第三者の権利を侵害しないことの保証を含め、いかなる種類の保証を行うものではありません。また、昭和電工株式会社は、本情報および本ホームページの利用またはそれらに対する信頼から生じたいかなる損害についても責任を負うものではありません。

本情報は、日本国およびその他の国において著作権により保護されています。本情報を、商業利用を目的として、販売、改竄、複製、展示、配布またはその他の方法により使用することはできません。本ホームページをリンクする場合、昭和電工株式会社の事前の承諾を要します。