エスペイサー®は、昭和電工独自の導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止剤膜形成材料です。

特徴

• エスペイサー®の塗布膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィー等荷電粒子線照射プロセスにおいてチャージアップによる問題を解決できます。
• エスペイサー®100シリーズと300シリーズを用意しています。
• 溶媒には水のみを使用しています。
• ＃100：非化学増幅型レジスト向け、室温保存性にすぐれています。 酸性。
• ＃300：化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト両方に適用できます。 弱酸性。

電子線描画のエスペイサー®の効果

エスペイサー®使用時(＃100)

エスペイサー®なし

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エスペイサー®300シリーズ

• 非化学増幅型レジストには、エスペイサー®300、エスペイサー®300Zが好適です。
• 化学増幅型レジストには、エスペイサー®300Nシリーズが好適です。

レジストの種類に対応してグレードをそろえております。
詳細についてはお問合せください。

「エスペイサー®」は昭和電工株式会社の登録商標です。

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