高純度FC-116

よみがな こうじゅんどFC-116
英語名称 hexafluoroethane
製品の別名
  • C2F6
  • FC-116 / hexafluoroethane
  • ヘキサフルオロエタン / hexafluoroethane <化学名>

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情報電子化学品事業部 ファイン製品部

製品説明

エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。

製品説明

性状及び分類 Properties and Classification

外観・臭気/無色無臭の気体 国連番号/2193
CAS NO/76-16-4 液化ガス

* 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(MSDS)をご参照下さい。

品質規格 Specification

純度(Purity) vol% 99.9993以上
O2+Ar volppm 2以下
N2 volppm 10以下
CH4 volppm 0.7以下
CO volppm 0.7以下
CO2 volppm 0.7以下
H2O volppm 3.0以下
酸分 as HF volppm 0.1以下
CF4 volppm 2.0以下
その他フッ化炭素分 volppm 5.0以下

容器 Cylinder

項目10L容器47L容器
サイズ 内径 140mm 232mm
高さ(ネック部) 850mm 1370mm
高さ(保護キャップ付き) * 1000mm 1520mm
バルブ口金部高さ(中心部) * 875mm 1380mm
充てん量 8kg 35kg, 40kg
材質 マンガン鋼

* 標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。

容器弁 Valve

口金サイズ Ø22mm×14山(w)×右ネジ(Right)
材質 BRASS

C2F6の物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties

項目単位データ
化学式   C2F6
分子量   138.01
沸点 -78.15
゚F -108.8
融点 -101
比重 (Air = 1)   4.823
液密度 (0℃, 飽和溶液) kg/L 1.109
ガス密度 g/L -
臨界温度 19.65
臨界圧力 MPa 3.2
kg/cm2 32.6
燃焼性   その他
劇・毒物   その他
蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) kJ/kg 117.0
許容濃度 (ACGIH) ppm -
爆発限界 (空気中)   -

C2F6の温度-蒸気圧曲線 Temperature - Vapor Pressure Curve

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366

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