高純度HFC-41

よみがな
こうじゅんどHFC-41
英語名称
fluoromethane
製品の別名
  • CH3F
  • HFC-41 / fluoromethane
  • フルオロメタン / fluoromethane <化学名>
この製品について問い合わせる
お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン製品部

製品説明

エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。

お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366

このページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。