高純度塩素

よみがな こうじゅんどえんそ
英語名称 chlorine
製品の別名
  • Cl2
  • 塩素 / chlorine <化学名>

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情報電子化学品事業部 ファイン製品部

製品説明

エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。

製品説明

性状及び分類 Properties and Classification

外観/黄色気体 臭気/刺激臭
CAS NO/10294-34-5 国連番号/1017
液化ガス 劇物

* 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(MSDS)をご参照下さい。

品質規格 Specification

純度(Purity) vol% 99.999以上
H2 volppm 0.1以下
O2 volppm 1.0以下
N2 volppm 4.0以下
CH4 volppm 0.1以下
CO volppm 1.0以下
CO2 volppm 2.0以下
H2O volppm 2.0以下
重金属
Na volppm 10以下
Zn volppm 20以下
Fe volppm 100以下
Cu volppm 10以下
Ni volppm 10以下
Cd volppm 5以下
Cr volppm 1以下
P volppm 5以下

容器 Cylinder

項目10L容器47L容器
サイズ 内径 140mm 232mm
高さ(ネック部) 850mm 1370mm
高さ(保護キャップ付き) * 1000mm 1520mm
バルブ口金部高さ(中心部) * 885mm 1400mm
充てん量 10kg 50kg
材質 マンガン鋼(クリーンエス処理)

* 標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。

容器弁 Valve

口金サイズ Ø26mm×14山(w)×右ネジ(Right)
材質 SUS316 (クリーンエス処理)

Cl2の物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties

項目単位データ
化学式   Cl2
分子量   70.91
沸点 -34.05
融点 -101
液密度 (0℃, 飽和溶液) kg/L -
昇華温度 -34.1
゚F -29.3
比重 (-34℃)   1.558
ガス密度 g/L 3.214
臨界温度 144
臨界圧力 MPa 7.7
kg/cm2 78.6
燃焼性   その他
劇・毒物   毒物
蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) kJ/kg 287.8
許容濃度 (ACGIH, TLV-TWA) ppm 0.5 (8時間)
爆発限界 (空気中, 35℃, 101.3kPa)   -

Cl2の温度-蒸気圧曲線 Temperature - Vapor Pressure Curve

お問い合わせ先

情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366

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