高純度六弗化硫黄
- よみがな
- こうじゅんどろくふっかいおう
- 英語名称
- sulfur hexafluoride
- 製品の別名
- SF6
- フッ化硫黄 / sulfur hexafluoride
- フッ化イオウ / sulfur hexafluoride <化学名>
製品説明
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
製品説明
性状及び分類 Properties and Classification
| 外観・臭気／無色無臭の気体もしくは液体 | 国連番号／1080 |
| CAS NO／2551-62-4 | 液化ガス |
*詳しいガス性状及び安全性については、安全データシート(SDS)をご参照下さい。
品質規格 Specification
| 純度(Purity) | wt% | 99.999以上 |
| 水分 | wtppm | 3.0以下 |
| 酸分 | wtppm | 0.4以下 |
| CH4 | wtppm | 0.3以下 |
| CO2 | wtppm | 0.3以下 |
| 空気 | wtppm | 6.0以下 |
容器 Cylinder
| 項目 | 10L容器 | 47L容器 | |
|---|---|---|---|
| サイズ | 内径 | 140mm | 232mm |
| 高さ(ネック部) | 850mm | 1370mm | |
| 高さ(保護キャップ付き) * | 1000mm | 1520mm | |
| バルブ口金部高さ(中心部) * | 885mm | 1400mm | |
| 充てん量 | 10kg | 50kg | |
| 材質 | マンガン鋼 | ||
*標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。
容器弁 Valve
| 口金サイズ | Ø22mm×14山(w)×右ネジ(Right) |
| 材質 | BRASS |
SF6の物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties
| 項目 | 単位 | データ |
|---|---|---|
| 化学式 | SF6 | |
| 分子量 | 146.06 | |
| 沸点 | ℃ | -63.89 |
| 昇華温度 | ℃ | -63.7 |
| ﾟF | -82.7 | |
| 融点 (223.9kPa) | ℃ | -50.8 |
| 液密度 | kg/L | -1.540 |
| ガス密度 (0℃, 飽和溶液) | g/L | - |
| 臨界温度 | ℃ | 45.6 |
| 臨界圧力 | MPa | 3.77 |
| kg/cm2 | 36.7 | |
| 燃焼性 | その他 | |
| 劇・毒物 | その他 | |
| 蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) | kJ/kg | 117 |
| 許容濃度 (ACGIH) | ppm | 1000 |
| 爆発限界 (空気中, 35℃, 101.3kPa) | - |
SF6の温度－蒸気圧曲線 Temperature - Vapor Pressure Curve
お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL ：044-520-1362
FAX ：044-520-1366
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