クリーンガスの特徴と仕様
製品説明
特徴
- 容器とバルブは内面研磨品です。
(特に塩素系ガスの場合には内面研磨後に当社の”クリーンエス”処理を実施します。) - クリーンエス処理後、特殊洗浄を行ないます。
- クリーン雰囲気中で特殊充填設備により充填いたします。
- 各種ステップ毎にパーティクル管理を行ないます。
容器の仕様
| 材質 | マンガン鋼 |
|---|---|
| 内面処理 | Ｒｍａｘ：1μｍ相当 (内面クリーンエス処理対応) 但しアンモニアについてはクリーンエス処理はいたしません。 |
| 内面洗浄 | 特殊洗浄(昭和電工方式) |
バルブの仕様
| 形式 | ダイヤフラム式 |
|---|---|
| 本体材質 | ＳＵＳ３１６Ｌ (内面クリーンエス処理対応) 但しアンモニアについてはクリーンエス処理はいたしません。 |
| 内面処理 | Ｒｍａｘ：1μｍ相当 (特に塩素系ガスの場合は、内面研磨後当社のクリーンエス処理対応を実施します。) |
| 洗浄・組立 | 特殊洗浄後、クリーン雰囲気下で組立 |
お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL ：044-520-1362
FAX ：044-520-1366
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