取り扱い製品一覧
エッチングガスおよびクリーニングガス
品名 | 化学式 | 更新日 | |
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CF4 | 2001.12.17 | |
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2002.9.3 | ||
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C2F6 | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 | ||
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CHF3 | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 | ||
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CH2F2 | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 | ||
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C4F8 | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 | ||
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C3F8 | 2001.12.17 | |
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C4F6 | 2004.7.6 | |
BCl3 | 2001.12.17 | ||
2001.12.17 | |||
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Cl2 | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 | ||
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HBr | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 | ||
SF6 | 2001.12.17 | ||
2001.12.17 | |||
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NF3 | 2001.12.17 |
エピタキシャル・膜生成ガス
品名 | 化学式 | 更新日 | |
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NH3 | 2001.12.17 | |
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N2O | 2001.12.17 | |
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2001.12.17 |
お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
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