取り扱い製品一覧

エッチングガスおよびクリーニングガス

品名 化学式 更新日
CF4 2001.12.17
2002.9.3
C2F6 2001.12.17
2001.12.17
CHF3 2001.12.17
2001.12.17
CH2F2 2001.12.17
2001.12.17
C4F8 2001.12.17
2001.12.17
C3F8 2001.12.17
C4F6 2004.7.6
  BCl3 2001.12.17
  2001.12.17
Cl2 2001.12.17
2001.12.17
HBr 2001.12.17
2001.12.17
  SF6 2001.12.17
  2001.12.17
NF3 2001.12.17

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エピタキシャル・膜生成ガス