取り扱い製品一覧

エッチングガスおよびクリーニングガス

品名		化学式	更新日
高純度FC-14	PDFをダウンロードカタログ(PDF160KB)	CF₄	2001.12.17
クリーンガスFC-14	PDFをダウンロードカタログ(PDF163KB)	CF₄	2002.9.3
高純度FC-116	PDFをダウンロードカタログ(PDF254KB)	C₂F₆	2001.12.17
クリーンガスFC-116	PDFをダウンロードカタログ(PDF258KB)	C₂F₆	2001.12.17
高純度HFC-23	PDFをダウンロードカタログ(PDF171KB)	CHF₃	2001.12.17
クリーンガスHFC-23	PDFをダウンロードカタログ(PDF259KB)	CHF₃	2001.12.17
高純度HFC-32	PDFをダウンロードカタログ(PDF232KB)	CH₂F₂	2001.12.17
クリーンガスHFC-32	PDFをダウンロードカタログ(PDF259KB)	CH₂F₂	2001.12.17
高純度FC-C318	PDFをダウンロードカタログ(PDF259KB)	C₄F₈	2001.12.17
クリーンガスFC-318	PDFをダウンロードカタログ(PDF258KB)	C₄F₈	2001.12.17
高純度FC-218	PDFをダウンロードカタログ(PDF209KB)	C₃F₈	2001.12.17
高純度FC-2316	PDFをダウンロードカタログ(PDF209KB)	C₄F₆	2004.7.6
高純度三塩化硼素		BCl₃	2001.12.17
クリーンガス三塩化硼素		BCl₃	2001.12.17
高純度塩素	PDFをダウンロードカタログ(PDF259KB)	Cl₂	2001.12.17
クリーンガス塩素	PDFをダウンロードカタログ(PDF258KB)	Cl₂	2001.12.17
高純度臭化水素	PDFをダウンロードカタログ(PDF257KB)	HBr	2001.12.17
クリーンガス臭化水素	PDFをダウンロードカタログ(PDF44KB)	HBr	2001.12.17
高純度六弗化硫黄		SF₆	2001.12.17
クリーンガス六弗化硫黄		SF₆	2001.12.17
高純度三弗化窒素	PDFをダウンロードカタログ(PDF258KB)	NF₃	2001.12.17

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エピタキシャル・膜生成ガス

品名		化学式	更新日
高純度アンモニア	PDFをダウンロードカタログ(PDF252KB)	NH₃	2001.12.17
高純度亜酸化窒素	PDFをダウンロードカタログ(PDF261KB)	N₂O	2001.12.17
クリーンガス亜酸化窒素	PDFをダウンロードカタログ(PDF254KB)	N₂O	2001.12.17

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