エッチングガスおよびクリーニングガス
| 品名 | 化学式 | 更新日 | |
|---|---|---|---|
| 高純度FC-14 | カタログ (PDF160KB) | CF4 | 2001.12.17 |
| クリーンガスFC-14 | カタログ (PDF163KB) | 2002.9.3 | |
| 高純度FC-116 | カタログ (PDF254KB) | C2F6 | 2001.12.17 |
| クリーンガスFC-116 | カタログ (PDF258KB) | 2001.12.17 | |
| 高純度HFC-23 | カタログ (PDF171KB) | CHF3 | 2001.12.17 |
| クリーンガスHFC-23 | カタログ (PDF259KB) | 2001.12.17 | |
| 高純度HFC-32 | カタログ (PDF232KB) | CH2F2 | 2001.12.17 |
| クリーンガスHFC-32 | カタログ (PDF259KB) | 2001.12.17 | |
| 高純度FC-C318 | カタログ (PDF259KB) | C4F8 | 2001.12.17 |
| クリーンガスFC-318 | カタログ (PDF258KB) | 2001.12.17 | |
| 高純度FC-218 | カタログ (PDF209KB) | C3F8 | 2001.12.17 |
| 高純度FC-2316 | カタログ (PDF209KB) | C4F6 | 2004.7.6 |
| 高純度三塩化硼素 | BCl3 | 2001.12.17 | |
| クリーンガス三塩化硼素 | 2001.12.17 | ||
| 高純度塩素 | カタログ (PDF259KB) | Cl2 | 2001.12.17 |
| クリーンガス塩素 | カタログ (PDF258KB) | 2001.12.17 | |
| 高純度臭化水素 | カタログ (PDF257KB) | HBr | 2001.12.17 |
| クリーンガス臭化水素 | カタログ (PDF44KB) | 2001.12.17 | |
| 高純度六弗化硫黄 | SF6 | 2001.12.17 | |
| クリーンガス六弗化硫黄 | 2001.12.17 | ||
| 高純度三弗化窒素 | カタログ (PDF258KB) | NF3 | 2001.12.17 |
エピタキシャル・膜生成ガス
| 品名 | 化学式 | 更新日 | |
|---|---|---|---|
| 高純度アンモニア | カタログ (PDF252KB) | NH3 | 2001.12.17 |
| 高純度亜酸化窒素 | カタログ (PDF261KB) | N2O | 2001.12.17 |
| クリーンガス亜酸化窒素 | カタログ (PDF254KB) | 2001.12.17 | |
