製品説明

酸性ガス除害装置　クリーンエス^®Zシリーズ

除害筒収納BOX

除害筒：13型
除害筒は主に80、110、130ℓ容量（7型、10型、13型）の大きさがあります

概要

当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。
クリ-ンエスＺシリーズは、塩素（Cl₂）、臭化水素（HBr）などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
充填剤には物理吸着剤（活性炭等）、化学反応吸着剤を使用し、その組み合わせにより、プロセスガス種に応じて下表の様な多種の型式を揃えています。

実績

1985年に業界で初めて開発・販売し、除害筒7000台、収納装置1000台以上の実績があります。

＜測定条件＞
　　温度=25℃、圧力＝常圧、流量（線速度LV）＝2m/min
　　ガス濃度= 10,000ppm ( =1%、N2希釈）

ガス名	クリーンエス ZB	クリーンエス ZH	クリーンエス ZT	クリーンエス B2	クリーンエス NX-Ⅱ
	13型	13型	13型	13型	13型
	[kg]	[kg]	[kg]	[kg]	[kg]
Cl2	11.1	3.1	3.9	14.1	8.2
BCl3	15.6	16.7	8.4	15.6	4.2
SiF4	6.6	22.9	11.4	7.7	19.2
HF	4.7	13.2	6.6	2.4	8.4
HCl	9.3	24.1	12.0	5.1	15.3
HBr	27.2	53.5	26.7	9.8	34.0
SO2	4.8	2.8	11.9	3.9	12.2
特徴	活性炭系の物理吸着 ＋無機系剤の化学吸着	無機系剤の化学吸着	無機系剤の化学吸着	活性炭系の物理吸着 ＋無機系剤の化学吸着	無機系剤の化学吸着
	Cl系の除害に適している	HBr、HF、SiF4の除害に適している	SO2（SF6使用プロセス）の除外に適している	Cl系の除害に適している	SO2（SF6使用プロセス）の除外に適している

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