酸性ガス除害装置
- よみがな
- さんせいがすじょうがいそうち
- 英語名称
- DRY-ETCHING GAS TREATMENT SYSTEM
- 製品の別名
- クリーンエスZ
製品説明
酸性ガス除害装置 クリーンエス®Zシリーズ

除害筒収納BOX

除害筒:13型
除害筒は主に80、110、130ℓ容量(7型、10型、13型)の大きさがあります
概要
当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。
クリ-ンエスZシリーズは、塩素(Cl2)、臭化水素(HBr)などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
充填剤には物理吸着剤(活性炭等)、化学反応吸着剤を使用し、その組み合わせにより、プロセスガス種に応じて下表の様な多種の型式を揃えています。
実績
1985年に業界で初めて開発・販売し、除害筒7000台、収納装置1000台以上の実績があります。

<測定条件>
温度=25℃、圧力=常圧、流量(線速度LV)=2m/min
ガス濃度= 10,000ppm ( =1%、N2希釈)
ガス名 | クリーンエス ZB | クリーンエス ZH | クリーンエス ZT | クリーンエス B2 | クリーンエス NX-Ⅱ |
13型 | 13型 | 13型 | 13型 | 13型 | |
[kg] | [kg] | [kg] | [kg] | [kg] | |
Cl2 | 11.1 | 3.1 | 3.9 | 14.1 | 8.2 |
BCl3 | 15.6 | 16.7 | 8.4 | 15.6 | 4.2 |
SiF4 | 6.6 | 22.9 | 11.4 | 7.7 | 19.2 |
HF | 4.7 | 13.2 | 6.6 | 2.4 | 8.4 |
HCl | 9.3 | 24.1 | 12.0 | 5.1 | 15.3 |
HBr | 27.2 | 53.5 | 26.7 | 9.8 | 34.0 |
SO2 | 4.8 | 2.8 | 11.9 | 3.9 | 12.2 |
特徴 | 活性炭系の物理吸着 +無機系剤の化学吸着 |
無機系剤の化学吸着 | 無機系剤の化学吸着 | 活性炭系の物理吸着 +無機系剤の化学吸着 |
無機系剤の化学吸着 |
Cl系の除害に適している | HBr、HF、SiF4の除害に適している | SO2(SF6使用プロセス)の除外に適している | Cl系の除害に適している | SO2(SF6使用プロセス)の除外に適している |
お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
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