酸性ガス除害装置
クリーンエスZシリーズ
製品基本情報
製品概要
半導体製造のAl、poly-Si、酸化膜（SiO2）などによるドライエッチング工程において発生する有害酸性ガスを、安全でクリーンなガスとして排出できる排ガス処理装置です。
1985年に業界で初めて開発・販売し、除害筒7,000台、収納装置1,000台以上の実績があります。
お問い合わせ
受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- 幅広いラインナップから、ガスレシピによる最適な除害筒の選定が可能
- 装置を制御するシステムを採用することで、異常・破過検知する安全な除害筒交換システムの構築が可能
- 当社のガスボンベ等を輸送する定期輸送便の活用により、様々な地域への安定的な除害筒の供給が可能
特性値
ガス吸着能力
＜測定条件＞温度=25℃、圧力＝常圧、流量（線速度LV）＝2m/min、ガス濃度= 10,000ppm ( =1%、N2希釈）
※データは代表値であり保証値ではありません。
お問い合わせ
受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）