トップページ製品情報エレクトロニクス半導体・ＦＰＤ用ケミカルソルファイン^®－ＳＥ－ＴＷ１０／Ａ

本製品を過酸化水素水に添加することで、Ti, W, TiW, TiNの長寿命^＊なエッチングが実現します。

～ エッチャントとしての特長 ～

【過水の分解抑制】

• 長い液ライフ （図参照）
• 低発泡 （写真参照）

【高選択性】

• Ｔｉ(チタン), Ｗ(タングステン), TiW, TiNに対するAl, Cu, SiO2のエッチングレート比は0.01以下

【低環境負荷】

• 中性
• PRTR法非該当

※過水単独使用時と比較した場合（当社測定データによる）

このページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。