ソルファイン®-SE-TW10/A
- よみがな
- そるふぁいん
- 英語名称
- Solfine-SE-TW10/A
製品説明
本製品を過酸化水素水に添加することで、Ti, W, TiW, TiNの長寿命*なエッチングが実現します。
~ エッチャントとしての特長 ~
【過水の分解抑制】
- 長い液ライフ (図参照)
- 低発泡 (写真参照)
【高選択性】
- Ti(チタン), W(タングステン), TiW, TiNに対するAl, Cu, SiO2のエッチングレート比は0.01以下
【低環境負荷】
- 中性
- PRTR法非該当

※過水単独使用時と比較した場合(当社測定データによる)
お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ソルファイン部
TEL :0834-64-0806
FAX :0834-62-0997
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