ソルファイン®剥離剤

よみがな
そるふぁいんはくりざい
英語名称
solfine
製品の別名
  • 剥離剤
  • ソルファイン®-ストリッパー715D / solfine-stripper715D
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お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ソルファイン部

製品説明

半導体フォトリソ工程でのドライエッチング時に発生するレジスト変質膜(サイドウォールポリマー, デポ, 残渣)を除去するための剥離液です。エッチング装置部品の洗浄にもご使用いただけます。

商品名 特性
ソルファイン®-ストリッパー715D

無機酸と有機防蝕材等を混合した水溶液で引火点はありません。

Low-k材料やAl配線へのダメージがほとんどありません。

以下の用途で、ご使用いただけます。

商品名 用途
ソルファイン®-ストリッパー715D

Al配線やコンタクトホールのサイドウォールポリマー除去

エッチング装置部品の洗浄

お問い合わせ先
情報電子化学品事業部 ソルファイン部
TEL :0834-64-0806
FAX :0834-62-0997

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