機械 : 半導体製造設備

エレクトロニクス

乾式PFC(地球温暖化ガス)除害装置
クリーンエスPF
分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化学反応方式を採用した水処理不要の乾式除害装置です。
代表製品名英語
PFC CHEMICAL CAPTURE SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式(薬剤交換式)PFC除害装置。
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
触媒式PFC(地球温暖化ガス)除害装置
HICDS
エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、触媒式ならではの高い安全性・経済性を生かし効率よく分解します。
代表製品名英語
PFC CATALYTIC DECOMPOSITION SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの触媒式PFC除害装置。除害対象ガスはPFC、SF6、NF3(GHG/地球温暖化ガス)。
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
金属表面処理「クリーンエス処理」
金属表面処理 (耐食性、耐摩耗性材料)
ガスボンベ、シリンダー(ボンベ)バルブ、配管、圧力調整器、ガス流量計、ラインバルブ、プロセスチャンバーなどの金属表面に、腐食性ガス雰囲気に対する耐食性を付与します。またその他用途として、摺動機械部品に対する耐摩耗効果、ゴム金型等における高離型性、型汚れの低減効果を保有するタイプ等、各種用途に応じ様々な表面処理を開発し提供しています。
用途
ボンベ・配管(耐食性)や摺動部品(耐摩耗性)などの各種用途
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
酸性ガス除害装置
クリーンエスZ
塩素、臭化水素などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
代表製品名英語
DRY-ETCHING GAS TREATMENT SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式除害装置。対象:Cl2、HBr、HF等
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366

アルミニウム

精密押出製品
アルミニウムの押出品で、空圧機器シリンダ、ハイトングヒートシンク、自動車、車輛の構造材、モーターケース、高精度引抜棒などに使用されます。
代表製品名英語
Precisely extruded product
用途
中大型形状においてハイトングや肉厚差の大きな押出材など
お問い合わせ
アルミ機能部材 メカトロニクス部材営業部 メカトロニクス材料グループ
TEL :03-5470-3552
FAX :03-5470-3775
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