IT・電子 : 半導体製造

エレクトロニクス

高純度臭化水素
HBr
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
hydrogen bromide
用途
エッチングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
高純度六弗化硫黄
SF6
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
sulfur hexafluoride
用途
エッチングガス、クリーニングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
乾式PFC(地球温暖化ガス)除害装置
クリーンエスPF
分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化学反応方式を採用した水処理不要の乾式除害装置です。
代表製品名英語
PFC CHEMICAL CAPTURE SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式(薬剤交換式)PFC除害装置。
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
ESPACER®
電子線描画用チャージアップ防止剤
導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止膜形成材料です。塗膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィーをはじめとする荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによって生じる諸問題の解決が期待できます。
代表製品名英語
ESPACER
用途
半導体製造(電子線描画時の帯電による画像の歪み防止用)
お問い合わせ
電子機能材事業部 営業部
TEL :03-5470-3344
FAX :03-3435-1034
工業用TMAH
テトラメチルアンモニウム=ヒドロキシド
電子工業向け高純度薬品(ポジ型フォトレジスト用現像液)のTMAHを幅広い用途に展開するため、工業用グレードを開発しました。使用済みポジ型フォトレジスト現像液を原料として製造するため、電子工業用TMAHと比較し、お客様にコストメリットを提供します。原料中に含まれるレジスト成分を選択的に除去するため、物性は電子工業用TMAHと変わりません。
代表製品名英語
Tetramethylammonium hydroxide
用途
洗浄液、触媒、吸収剤、pH調整剤
お問い合わせ
特殊化学品部 ファンクショナルマテリアルズグループ
TEL :03-6402-5080
FAX :03-5403-5730
触媒式PFC(地球温暖化ガス)除害装置
HICDS
エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、触媒式ならではの高い安全性・経済性を生かし効率よく分解します。
代表製品名英語
PFC CATALYTIC DECOMPOSITION SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの触媒式PFC除害装置。除害対象ガスはPFC、SF6、NF3(GHG/地球温暖化ガス)。
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
高純度三弗化窒素
NF3
代表製品名英語
high purity nitrogen trifluoride
用途
クリーニングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
金属表面処理「クリーンエス処理」
金属表面処理 (耐食性、耐摩耗性材料)
ガスボンベ、シリンダー(ボンベ)バルブ、配管、圧力調整器、ガス流量計、ラインバルブ、プロセスチャンバーなどの金属表面に、腐食性ガス雰囲気に対する耐食性を付与します。またその他用途として、摺動機械部品に対する耐摩耗効果、ゴム金型等における高離型性、型汚れの低減効果を保有するタイプ等、各種用途に応じ様々な表面処理を開発し提供しています。
用途
ボンベ・配管(耐食性)や摺動部品(耐摩耗性)などの各種用途
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
酸性ガス除害装置
クリーンエスZ
塩素、臭化水素などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
代表製品名英語
DRY-ETCHING GAS TREATMENT SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式除害装置。対象:Cl2、HBr、HF等
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
高純度FC-2316
C4F6
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
hexafluoro-1,3-butadiene
用途
クリーニングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366

カーボン製品

人造黒鉛微粉末
当社の保有する黒鉛化技術を駆使し、約3000℃の高温で処理した高品位の人造黒鉛微粉末です。高い品質安定性を持ち、熱伝導性付与材・導電助材・潤滑材等、多様な用途に使用されています。
代表製品名英語
ultra fine artificial graphite powder
用途
樹脂・ゴムへの熱伝導性・導電性付与・樹脂・ゴムへの摺動性付与、金属への摺動性(潤滑性)付与、セラミックスの造孔剤(多孔セラミックス製造用)
お問い合わせ
先端電池材料事業部
TEL :045-453-5779
FAX :045-543-5764

セラミックス製品

ガラス研磨材 ショウロックス®
ショウロックス®
液晶パネル用ガラス基板、光学ガラス、ハードディスク用ガラス基板、フォトマスク、水晶ナノ研磨に使用されます。
代表製品名英語
polishing materials SHOROX®
用途
液晶パネル用ガラス基板、光学ガラス、ハードディスク用ガラス基板、フォトマスク、水晶ナノ研磨
お問い合わせ
セラミックス事業部 第二営業部 HD・硝子研磨材グループ
TEL :03-5470-3415
FAX :03-3431-6924

アルミニウム

高純度アルミニウム特殊品
99.99%を超える純度を有する高純度アルミニウム材料で、スパッタリングターゲットや蒸着材などの電子材料分野、および超伝導材料分野などに使用されます。
代表製品名英語
High purity aluminum special products
用途
スパッタリングターゲットや蒸着材などの電子材料分野、超伝導材料分野
お問い合わせ
アルミ圧延品事業部 営業部
TEL :(堺)072-225-2721 (東京)03-5470-3546
FAX :(堺)072-225-2911 (東京)03-5470-3770
シリコンウェハ用クリーンバッグ
シリコンウェハのクリーンルーム間の移動、またはシリコンウェハの出荷用包装材です。
お問い合わせ
昭和電工パッケージング株式会社 電子・機能材営業グループ
TEL :03-5400-2083
FAX :03-5400-2086
精密押出製品
アルミニウムの押出品で、空圧機器シリンダ、ハイトングヒートシンク、自動車、車輛の構造材、モーターケース、高精度引抜棒などに使用されます。
代表製品名英語
Precisely extruded product
用途
中大型形状においてハイトングや肉厚差の大きな押出材など
お問い合わせ
アルミ機能部材 メカトロニクス部材営業部 メカトロニクス材料グループ
TEL :03-5470-3552
FAX :03-5470-3775
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