情報電子化学品事業部

エレクトロニクス

高純度アンモニア
NH3
エピタキシャル、膜成形ガスに利用される高品質の高純度材料ガスです。
代表製品名英語
ammonia
用途
エピタキシャル、膜成形ガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
高純度液化亜酸化窒素
N2O
主に、半導体の酸窒化膜形成時の材料ガスとして使用されます。
代表製品名英語
high purity liquified nitrous oxide
用途
膜成形ガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
高純度塩素
Cl2
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
chlorine
用途
エッチングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
高純度三塩化硼素
BCl3
代表製品名英語
boron trichloride
用途
エッチングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
高純度臭化水素
HBr
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
hydrogen bromide
用途
エッチングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
高純度六弗化硫黄
SF6
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
sulfur hexafluoride
用途
エッチングガス、クリーニングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
乾式PFC(地球温暖化ガス)除害装置
クリーンエスPF
分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化学反応方式を採用した水処理不要の乾式除害装置です。
代表製品名英語
PFC CHEMICAL CAPTURE SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式(薬剤交換式)PFC除害装置。
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
触媒式PFC(地球温暖化ガス)除害装置
HICDS
エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、触媒式ならではの高い安全性・経済性を生かし効率よく分解します。
代表製品名英語
PFC CATALYTIC DECOMPOSITION SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの触媒式PFC除害装置。除害対象ガスはPFC、SF6、NF3(GHG/地球温暖化ガス)。
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
高純度三弗化窒素
NF3
代表製品名英語
high purity nitrogen trifluoride
用途
クリーニングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
金属表面処理「クリーンエス処理」
金属表面処理 (耐食性、耐摩耗性材料)
ガスボンベ、シリンダー(ボンベ)バルブ、配管、圧力調整器、ガス流量計、ラインバルブ、プロセスチャンバーなどの金属表面に、腐食性ガス雰囲気に対する耐食性を付与します。またその他用途として、摺動機械部品に対する耐摩耗効果、ゴム金型等における高離型性、型汚れの低減効果を保有するタイプ等、各種用途に応じ様々な表面処理を開発し提供しています。
用途
ボンベ・配管(耐食性)や摺動部品(耐摩耗性)などの各種用途
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
酸性ガス除害装置
クリーンエスZ
塩素、臭化水素などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。
代表製品名英語
DRY-ETCHING GAS TREATMENT SYSTEM
用途
半導体製造工程ドライエッチング廃ガスの乾式除害装置。対象:Cl2、HBr、HF等
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン装置グループ
TEL :044-520-1364
FAX :044-520-1366
高純度FC-2316
C4F6
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。
代表製品名英語
hexafluoro-1,3-butadiene
用途
クリーニングガス
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366

高純度臭化水素
代表製品名英語
hydrogen bromide
お問い合わせ
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
TEL :044-520-1362
FAX :044-520-1366
  • 2ページ

製品検索